日系精工 干式真空泵EBARA荏原制作所

日系精工 干式真空泵EBARA荏原制作所

• 基本信息

• 定義：干式真空泵（Dry Vacuum Pump）也稱無(wú)油真空泵，是為滿足工業(yè)生產(chǎn)對(duì)真空環(huán)境越來(lái)越嚴(yán)格的要求而發(fā)展起來(lái)的新型真空獲得設(shè)備，工作時(shí)泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)。

• 發(fā)展歷程：17 世紀(jì)，葛利克、伽利略等科學(xué)家開(kāi)始研究人造真空，其使用的裝置是干式真空泵的簡(jiǎn)易版本。1985 年，日本研發(fā)并生產(chǎn)了一臺(tái)爪型式真空泵，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中。1994 年，中國(guó)自主研發(fā)了第一臺(tái)爪式真空泵，開(kāi)啟了中國(guó)干式真空泵的自主研發(fā)道路。

• 工作原理與分類

• 容積式干式真空泵：通過(guò)改變泵腔容積來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣，如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。以螺桿式泵為例，在泵體內(nèi)平行配置著一對(duì)轉(zhuǎn)子，分別稱為陰、陽(yáng)轉(zhuǎn)子，一般陽(yáng)轉(zhuǎn)子與電機(jī)相連，通過(guò)一對(duì)同步齒輪帶動(dòng)陰轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)，陰陽(yáng)轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵體之間都有微小的間隙，不直接接觸，無(wú)需潤(rùn)滑，氣體由上側(cè)進(jìn)入，在泵腔內(nèi)壓縮由轉(zhuǎn)子下端排除。

• 動(dòng)量傳輸式干式真空泵：如渦輪式無(wú)油泵、牽引型干式泵等。渦輪式無(wú)油泵在結(jié)構(gòu)上采用徑向流和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu)，多級(jí)串聯(lián)抽氣，靠高速旋轉(zhuǎn)的葉輪對(duì)氣體分子施加動(dòng)量，使氣體分子獲得定向速度而被抽走。

• 特點(diǎn)

• 氣體處理限制：不能處理大量的腐蝕性氣體，否則會(huì)使其表面腐蝕，導(dǎo)致泵的效率下降和壽命縮短；也不能處理大量的水蒸氣，一般無(wú)法處理超過(guò)單位體積幾個(gè)百分點(diǎn)的水蒸氣。

• 造價(jià)較高：相比一些傳統(tǒng)的有油真空泵，干式真空泵的制造工藝和技術(shù)要求較高，因此造價(jià)通常也比較高。

• 清潔環(huán)保：無(wú)油潤(rùn)滑，不會(huì)產(chǎn)生油污和蒸汽污染，能保持真空環(huán)境的潔凈，特別適用于對(duì)環(huán)境清潔度要求高的場(chǎng)合，如半導(dǎo)體制造、制藥等行業(yè)。

• 真空度高：可以達(dá)到的真空度，最高可達(dá)到 10-9Torr 的真空度級(jí)別，能滿足一些需要超高真空的工藝需求。

• 低維護(hù)成本：沒(méi)有潤(rùn)滑油和濾芯等易損部件，減少了定期更換潤(rùn)滑油、濾芯等維護(hù)工作，降低了維護(hù)成本。

• 可靠性高：由于沒(méi)有飛濺潤(rùn)滑油，避免了因潤(rùn)滑油問(wèn)題導(dǎo)致的故障，有更高的可靠性和更長(zhǎng)的使用壽命。

• 可抽除特殊氣體：部分干式真空泵可抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，還能處理腐蝕性介質(zhì)和易燃易爆氣體。

  
  

• 應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的光刻、蝕刻、鍍膜等工藝，要求真空環(huán)境潔凈度高，干式真空泵可避免油污染，保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和性能。

• 化學(xué)工業(yè)：在化工生產(chǎn)中的蒸餾、干燥、脫泡等工藝中廣泛應(yīng)用，可抽除各種腐蝕性、易燃易爆氣體，同時(shí)能滿足化工工藝對(duì)真空度的要求。

• 醫(yī)藥工業(yè)：制藥過(guò)程中的真空干燥、濃縮、蒸餾以及藥品包裝等環(huán)節(jié)，干式真空泵可提供清潔的真空環(huán)境，防止藥品受到污染。

• 食品工業(yè)：用于食品的真空包裝、冷凍干燥等，能延長(zhǎng)食品的保質(zhì)期，保持食品的品質(zhì)。

• 航天領(lǐng)域：在航天器的制造、測(cè)試以及太空模擬等方面，干式真空泵可提供高真空度的環(huán)境，模擬太空環(huán)境條件。