原裝產品EBARA荏原制作所 干式真空泵

原裝產品EBARA荏原制作所 干式真空泵

• 基本信息

• 定義：干式真空泵（Dry Vacuum Pump）也稱無油真空泵，是為滿足工業生產對真空環境越來越嚴格的要求而發展起來的新型真空獲得設備，工作時泵腔內無油或其他工作介質。

• 發展歷程：17 世紀，葛利克、伽利略等科學家開始研究人造真空，其使用的裝置是干式真空泵的簡易版本。1985 年，日本研發并生產了一臺爪型式真空泵，應用于半導體產業鏈中。1994 年，中國自主研發了第一臺爪式真空泵，開啟了中國干式真空泵的自主研發道路。

• 工作原理與分類

• 容積式干式真空泵：通過改變泵腔容積來實現抽氣，如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。以螺桿式泵為例，在泵體內平行配置著一對轉子，分別稱為陰、陽轉子，一般陽轉子與電機相連，通過一對同步齒輪帶動陰轉子轉動，陰陽轉子之間、轉子與泵體之間都有微小的間隙，不直接接觸，無需潤滑，氣體由上側進入，在泵腔內壓縮由轉子下端排除。

• 動量傳輸式干式真空泵：如渦輪式無油泵、牽引型干式泵等。渦輪式無油泵在結構上采用徑向流和周向流泵的復合式結構，多級串聯抽氣，靠高速旋轉的葉輪對氣體分子施加動量，使氣體分子獲得定向速度而被抽走。

• 特點

• 氣體處理限制：不能處理大量的腐蝕性氣體，否則會使其表面腐蝕，導致泵的效率下降和壽命縮短；也不能處理大量的水蒸氣，一般無法處理超過單位體積幾個百分點的水蒸氣。

• 造價較高：相比一些傳統的有油真空泵，干式真空泵的制造工藝和技術要求較高，因此造價通常也比較高。

• 清潔環保：無油潤滑，不會產生油污和蒸汽污染，能保持真空環境的潔凈，特別適用于對環境清潔度要求高的場合，如半導體制造、制藥等行業。

• 真空度高：可以達到的真空度，最高可達到 10-9Torr 的真空度級別，能滿足一些需要超高真空的工藝需求。

• 低維護成本：沒有潤滑油和濾芯等易損部件，減少了定期更換潤滑油、濾芯等維護工作，降低了維護成本。

• 可靠性高：由于沒有飛濺潤滑油，避免了因潤滑油問題導致的故障，有更高的可靠性和更長的使用壽命。

• 可抽除特殊氣體：部分干式真空泵可抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體，還能處理腐蝕性介質和易燃易爆氣體。

  
  

• 應用領域

• 半導體行業：用于半導體制造過程中的光刻、蝕刻、鍍膜等工藝，要求真空環境潔凈度高，干式真空泵可避免油污染，保證半導體器件的質量和性能。

• 化學工業：在化工生產中的蒸餾、干燥、脫泡等工藝中廣泛應用，可抽除各種腐蝕性、易燃易爆氣體，同時能滿足化工工藝對真空度的要求。

• 醫藥工業：制藥過程中的真空干燥、濃縮、蒸餾以及藥品包裝等環節，干式真空泵可提供清潔的真空環境，防止藥品受到污染。

• 食品工業：用于食品的真空包裝、冷凍干燥等，能延長食品的保質期，保持食品的品質。

• 航天領域：在航天器的制造、測試以及太空模擬等方面，干式真空泵可提供高真空度的環境，模擬太空環境條件。